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低温等离子废气处理设备是利用这些电子、离子、原子与废气中的污染物作用，使污染物分子在短的时间内发生降解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。
低温等离子体废气处理成套设备和技术作为一种新型的气态污染物的治理技术是一个集物理学、化学、生物学和环境科学于一体的交叉综合性电子化学技术，由于能很容易使污染物分子降解且处理能耗低等特点，是目前国内外大气污染治理富有前景、行之有用的技术方法之一，其使用和推广前景广阔，为工业领域VOC类废气及恶臭气体的治理开辟了一条新的思路。
低温等离子废气处理设备利用特制的-能-臭氧UV紫外线光束照射工业废气，裂解恶臭/工业废气如：氨、、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC类，苯、甲苯、二甲苯等的分子链结构，使有级或无机高分子恶臭化合物分子链，在-能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物，如CO2、H2O等。